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箱型クリーン乾燥機
  • 炉内+−2℃以内の温度管理と多段階温度制御システム
    (上・中・下各15ヶ所総45ヶ所温度センサー部着検証)
  • 炉内の清浄度管理のためのClass100 HEPAフィルタ採用と
    フィルタ管理のための差圧計
  • 過剰熱膨張による爆発防止システム採択
  • モータ回転及びヒータ断線監視システム
現存のBox Oven Dryerの中で、一番進歩している乾燥装置です。
基板の製造が精密化している状況で敏感に対応可能な多段階乾燥(Step Cure)又は長時間かけての温度上昇を必要とする等のお客の多様な仕様に合わせるようにプログラム方式の温度管理コントロールシステムを採用いたしました。
乾燥炉の内部にはClass100HEPAフィルタの装着で埃等の異物を除去し、そのフィルタの状態を点検する差圧系も装着いたしました。
爆発の強い圧力による事故事前防止のための防爆ベントを装着及びプログラムによって自動的に排気もコントロールされる非常に優秀なモデルです。
乾燥炉内寸法 (W)800×(D)800×(H)1200(mm)
全体コントロール装置 プログラム方式
温度制御システム PID制御
最大温度 常温〜200℃
温度程度 ±2℃以内(乾燥炉内 45points)
清浄フィルター Class100 HEPAフィルタ
フィルター清浄度監視装置 含む
防爆ベント 飛散防止Box設置
モーター回転監視装置 含む
ヒーター断線警報監視装置 含む
温度記録計 アナログ6打点100mmチャート含む
  1. Clean Room Version
  2. ヒューム制御システム
  3. デジタル温度記録計
  4. 炉内棚位置及び段数の変更